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羅茨真空泵一般采用真空單元的形式，因為普通羅茨泵在正常壓力和高壓下不能啟動和直排大氣，所以需要配備前泵。但不是所有的羅茨真空泵都需要啟動前級泵，例如氣冷羅茨真空泵。

非耀氣冷羅茨真空泵

普通羅茨真空泵需要在6000Pa甚至更低的壓力下才能啟動，在1333Pa?1Pa之間開始具有穩(wěn)定的大抽速。因為羅茨真空泵沒有內(nèi)部壓縮特性，它是通過氣體排放形式的外部壓縮實現(xiàn)的。過高的壓力和高壓作業(yè)會使真空泵負載過高，使得轉(zhuǎn)子在壓縮過程中不能太大的散熱，會產(chǎn)生過大的膨脹，導致轉(zhuǎn)子與泵腔之間的間隙消失了，那就是卡住了。為了解決這個問題，氣冷羅茨真空泵使用冷卻氣直接冷卻轉(zhuǎn)子方式降低轉(zhuǎn)子溫度和泵腔之間的溫差，以避免轉(zhuǎn)子過度膨脹實現(xiàn)高壓和高壓縮比運行，因此它可以單獨在大氣壓下使用，也可以用于增加多個串聯(lián)單元的真空度。

氣冷羅茨真空泵和普通羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)原理沒有太大的區(qū)別。主要在泵出口設置連接的冷卻器，并在泵的兩側(cè)引入冷卻氣體以冷卻轉(zhuǎn)子。這種結(jié)構(gòu)，羅茨真空泵的實現(xiàn)可以在大氣壓力下直接啟動，獨立工作。獨立直風，氣冷式羅茨真空泵壓泵約1×104Pa，串聯(lián)可得到下限壓力，工作壓力可達88kPa。

非耀氣冷羅茨真空泵不僅可以直接在大氣壓下工作，而且在高壓段具有穩(wěn)定的泵送速度曲線，可大大縮短抽氣階段的抽氣時間。與其他直氣密封泵相比，泵送速度大，且具有在高壓條件下具有良好的節(jié)能特點。