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真空泵其實有多種不一樣的類型，選擇不同的類型，也就會有不一樣的作用，所以是應該要讓自己能夠先去了解了，這一點都是很有必要的一件事情。干式真空泵由于其優(yōu)越的性能，目前已成為電子行業(yè)、半導體、制藥、精加工等行業(yè)優(yōu)選的真空采集設備。那么干式真空泵有哪幾種類型呢？下面非耀真空泵廠家小編就來帶大家了解一下。

非耀干式無油螺桿真空泵

一、雙圓裂片式。雙圓裂片式的多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一及都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種干式真空泵設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

二、三葉圓裂片式。三葉圓裂片式設計和上述形式設計的原理相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動的能力—下降。

三、組合式（羅茨+爪）。組合式（羅茨+爪）設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計相同。也有些廠家將這種干式真空泵其改為星型設計，這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。

四、壓縮型螺桿式。在壓縮型干式螺桿真空泵設計中，使用一對等距螺桿。

螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮，同時使得氣體通路簡單。這樣，氣體在泵體內停留的時間也短。這種干式真空泵設計在復雜的半導體工藝中表現出的穩(wěn)定性非常強。