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羅茨真空泵是兩個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上，通過(guò)齒輪比為1的一對(duì)齒輪帶的運(yùn)動(dòng)，進(jìn)行相互反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。 在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子和泵殼內(nèi)壁之間有一定的間隙，可以高速運(yùn)轉(zhuǎn)。泵室內(nèi)運(yùn)動(dòng)部件無(wú)摩擦，不需潤(rùn)滑，泵室內(nèi)無(wú)油。轉(zhuǎn)子形狀對(duì)稱，動(dòng)平衡性能良好，運(yùn)行順暢，選擇高精度齒輪傳動(dòng)，運(yùn)行時(shí)噪音低，可獲得高轉(zhuǎn)速(提升速度)。羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)概略圖如下。

羅茨泵的抽氣特性，在一定的壓力范圍內(nèi)有很大的抽氣速度。抽氣過(guò)程中其工作空間的容積不變，即“無(wú)內(nèi)壓縮”，這與很多可變?nèi)萘渴秸婵毡貌煌?。所以需要前?jí)泵。羅茨泵的真空度除了取決于泵自身的結(jié)構(gòu)和制造精度之外，還取決于前段泵的真空度。為了提高泵的真空度，可以串聯(lián)使用羅茨泵。當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)排氣口的邊緣，封閉空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)的氣體壓力高，一部分高壓氣體被推到封閉空間，使空間內(nèi)的氣體壓力突然上升到排氣壓力，即所謂的“外壓縮過(guò)程”。 轉(zhuǎn)子持續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體排出泵外。

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